先生インタビュー 上村 浩司
プロフィール
工学部 総合システム工学科 機械工学系
上村 浩司教授・博士(工学)
福岡県北九州市出身。小学校時代、レゴのようなブロックや電子部品を組み立てる楽しさに衝撃を受け毎日何かを作っていました。高校時代に普及したパソコンの便利さに衝撃を受け、情報処理技術で世の中がさらに便利になることを感じ熱中しましたが、物事の根本を知ることで、より物事の理解が深まることにさらに衝撃を受け、大学では物理を学びました。
大学卒業後は、安川電機に入社し、半導体などの微細加工技術を利用して、メカトロニクス機器やロボット用のセンサー、マイクロマシンの研究開発を行いました。
2023年より西日本工業大学の教授となっています。
研究内容
ナノマイクロ科学・MEMS技術で世の中をさらに便利に
ナノ・マイクロサイズとは、髪の毛の太さよりはるかに小さい世界です。そんな小さなサイズで作られた電子回路は半導体ICとして私たちの様々な場所で生活を広く支えています。同じくとても小さなサイズで機械を小型にしたものがMEMSデバイスと呼ばれ、急速に大量に自動車やスマートフォン、ロボットなどに使われ、私たちのデータ社会を支えるようになりました。研究室では、半導体の微細加工技術を利用してナノ・マイクロサイズのMEMSについて研究することで、私たちの情報化社会をさらに便利にしていくよう取り組みを進めていきます。
上の写真は、『MEMS部品の大きさくらべ(2つのパーツを並べた写真)』と『微細加工の様子(研究装置操作の様子)』です。『大きさくらべ』では、左が真空管、右がMEMSの試作部品であり、サイズがとても小さくなっている様子がわかります。