新着情報 教育研究シーズ（機械工学系　上村 浩司）

工学部　総合システム工学科　機械工学系　教授　上村 浩司

研究キーワード

微細加工、MEMS、マイクロマシン、半導体、電界放出、磁性薄膜、エンコーダ、ナノ・マイクロ科学

現在の教育研究分野

• 半導体を用いた微細加工構造物の応用研究

開発,研究事例・研究作品

主にSiなど半導体を加工することにより作製される構造物は、MEMSをはじめとする微小なセンサー・アクチュエータを実現し、特に電子放出素子は耐環境性を有するセンサや、高輝度発光デバイスの実現につながります。

連携先

電気電子関連企業など