新着情報 本学大学院生の査読付論文掲載＆東京工業大学大学院への進学（大学院生／川崎研究室）

本学工学部の川崎研究室を修了した院生・沈克成さんが昨年度在学中に投稿した論文が、査読を経て次のように掲載されました。

• 掲載雑誌：IEEE Transactions on Plasma Science
• 題目：Effects of supplied gas on plasma-induced liquid flows
• 著者：K. Shen, H. Shi, K. Koga, M. Shiratani, T. Kawasaki
• 概要：プラズマを液体に直接照射することによって発生する特異な流れが、プラズマ発生用ガスによって大きく変化する現象と考えられるメカニズムを報告。この成果は半導体洗浄への応用技術（特許出願済）としての可能性をさらに発展させる成果です。