教育研究シーズ［工学部］ 上村 浩司
工学部 総合システム工学科 機械工学系 教授 上村 浩司
研究キーワード
微細加工、MEMS、マイクロマシン、半導体、電界放出、磁性薄膜、エンコーダ、ナノ・マイクロ科学
現在の教育研究分野
- 半導体を用いた微細加工構造物の応用研究
開発,研究事例・研究作品
主にSiなど半導体を加工することにより作製される構造物は、MEMSをはじめとする微小なセンサー・アクチュエータを実現し、特に電子放出素子は耐環境性を有するセンサや、高輝度発光デバイスの実現につながります。
連携先
電気電子関連企業など